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Titre :	Elaboration caracteristion de couches minces par spray payrolyse et plulverisation magnetron
Auteurs :	Saâd Rahmane, Auteur ; aida S, Directeur de thèse
Support:	Thése doctorat
Editeur :	Biskra [Algerie] : Université Mohamed Khider, 2008
Langues:	Français
Résumé :	Ce présent travail a pour objectif la déposition et la caractérisation des couches minces d’oxyde de zinc en vue d’obtention des matériaux de bonnes propriétés optoélectrique requise pour leur utilisation entant qu’électrode transparente Dans la première partie de ce travail nous avons tout d’abord réalisé un système de dépôt par la technique Spray Pyrolyse. La motivation pour l’emploi de cette technique est sa simplicité et sa facilité d’élaboration. Des séries de film de ZnO ont été élaborés en variant la molarité de la solution précurseur, la température de substrat afin d’optimiser le système mis au point. Enfin une tentative de dopage de film ZnO avec l’aluminium a été adressée dans l’objectif d’améliorer les propriétés de transport de nos films. Dans la deuxième partie de ce travail, des films ZnO ont été élaboré par une technique PVD en l’occurrence la pulvérisation RF magnétron. Cette partie est aussi axe à l’optimisation du système en étudiant l’influence des paramètres de dépôt tel que la puissance, la pression, le taux d’oxygène et le dopage sur les propriétés structurales, optiques et électriques des films.