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Résumé :
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Des couches minces de ZnO non dopées et dopées (par Al et In) ont été déposées par deux modes de spray pyrolyse, ultrasonique et pneumatique sur un substrat de verre, pour étudier l'effet de plusieurs facteurs sur les propriétés structurelles, optiques et électriques des films minces de ZnO. Dans la première partie, nous avons déposé plusieurs échantillons de films minces de ZnO par spray pyrolyse ultrasonique avec diverses molarités de la solution de départ pour le ZnO non dopé et diverses taux de dopage pour des films de ZnO dopés à l’aluminium et à l’indium. Dans le deuxième, des couches minces de ZnO ont été déposées par le spray pyrolyse pneumatique avec deux différentes pressions de spray (1 et 1,5 bars) et des températures de substrat différentes pour chaque pression; des films de ZnO avec différents taux de dopage en aluminium ont été également préparés. Toutes les couches minces de ZnO ont été analysées par diverses techniques: diffraction des rayons X, analyse EDS, MEB, UV-Vis, effet Hall, technique de quatre et deux pointes. Cette étude nous a permis d’obtenir des couches minces de ZnO ayant des propriétés structurelles, optiques et électriques très importantes, qui sont très prometteuses dans les applications photovoltaïques. Mots clés: Spray pyrolyse, Couches minces de ZnO, Ultrasonique, Pneumatique, Molarité, ZnO: Al, ZnO: In, température de substrat, DRX, MEB, UV-Vis, propriétés électriques.
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