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Optimisation des conditions d’élaboration des couches minces d’oxyde d’étain SnO2 par spray

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Titre :	Optimisation des conditions d’élaboration des couches minces d’oxyde d’étain SnO2 par spray
Titre original:	optimization of elaboration conditions of tin oxide Sn02 thin films by spray
Auteurs :	Abdelkrim Allag ; Saâd Rahmane, Directeur de thèse
Support:	Thése doctorat
Editeur :	Biskra [Algerie] : Université Mohamed Khider, 2018
Langues:	Français
Mots-clés:	oxyde transparent conducteur (TCO) ; couches minces ; UV-Visible ; quatre pointes
Résumé :	Ce présent travail a pour objectif la déposition et la caractérisation des couches minces d ’oxyde de d ’étain par la méthode spray pneumatique, en vue d ’obtention d ’un oxyde transparent conducteur (TCO) de bonne propriété optoélectrique requise pour son utilisation entant qu’électrode transparente ou détecteur de gaz. La motivation pour l’emploi de cette technique est sa simplicité et sa facilité d ’élaboration. Dans la première partie de ce travail, des séries de film de SnO2 ont été élaborés en variant la molarité de la solution précurseur, la température de substrat, le temps de dépôt, la solution de base et le dissolvant, afin d ’optimiser la qualité des couches minces de SnO2 Dans la deuxième partie de ce travail, une étude de l’influence des gaz sur les propriétés des couches minces de SnO2 a été faite. Les résultats obtenus lors des différentes caractérisations menées (DRX, ALM, UV- Visible et q u a tr e pointes), montre que les conditions optimales de dépôt de couche mince d ’oxyde d ’étain, pour obtenir un matériau ayant de bonnes propriétés optoélectronique, sont : la concentration de la solution 0,2 mol/l; le temps de dépôt 3 minutes; la température du substrat 500°c; la solution de base (Sn CL 2.2H2O); et comme l'eau pu re dissolvant. L ’étude de l’influence des gaz sur les propriétés des couches minces de SnO2 montre que la résistance surfacique et la transmittance moyenne de la couche mince de SnO2 augmente lorsque l’interaction est avec le gaz oxydant, et diminue lorsque l’interaction est avec le gaz réducteurs. Ainsi la réponse et la transmittance moyenne de la couche mince de SnO2 augmente avec l’augmentation de la concentration de gaz This work aims to the deposition and characterization of tin oxide thin films by pneumatic spray method, in order to obtain a transparent conductive oxide (TCO) of good optoelectric property required for its use, as transparent electrode or gas detector. The motivation for using this technique is its simplicity and ease of elaboration. In the first part of this work, SnO2 film series were developed by varying the molarity of the precursor solution, the substrate temperature, the deposition time, the base solution and the solvent, in order to optimize the quality of SnO2 thin films. In the second part of this work, a study of the influence of gases on the properties of SnO2 thin films was made. The results obtained during the various characterizations carried out (DRX, AFM, UV-Visible and four points), shows that the optimal conditions of tin oxide thin films deposition, to obtain a material having good optoelectronic properties, are: the concentration of the solution 0.2 mol/l; the deposition time 3 minutes; the temperature of the substrate 500 ° C; the basic solution (SnCl2.2H2O); and pure water as dissolvent. The study of the influence of gases on the properties of SnO2 thin films shows that the surface resistance and the average transmittance of the SnO2 thin film increases when the interaction is with the oxidizing gas, and decreases when the interaction is with the reducing gases. Thus the response and mean transmittance of the SnO2 thin layer increases with increasing gas concentration.

Exemplaires (3)

Cote	Support	Localisation	Disponibilité	Emplacement
TH/2209	Thèse doctorat	Bibliothèque centrale El Allia	Exclu du prêt	Salle de consultation
TH/2209	Thèse doctorat	Bibliothèque centrale El Allia	Exclu du prêt	Salle de consultation
TH/2209	Thèse doctorat	Bibliothèque centrale El Allia	Exclu du prêt	Salle de consultation