| Titre : | Caractérisation des couches minces de BST |
| Auteurs : | Souhir Mseddi, Auteur |
| Type de document : | Monographie imprimée |
| Editeur : | Éditions Universitaires Européennes, 2017 |
| ISBN/ISSN/EAN : | 978-3-639-65151-5 |
| Format : | 1 vol. (119 p.) / couv. ill. en coul. / 23 cm |
| Langues: | Français |
| Langues originales: | Français |
| Résumé : |
Ce travail de recherche s’inscrit dans le domaine de la physique des milieux condensés, il se rapporte à la caractérisation des couches minces de type BST (Ba1-xSrxTiO3) par la propagation des ondes acoustiques de surface et par la diffractométrie X. Le BST est une pérovskite, donc une structure très sensible à sa concentration en oxygène et à ses proportions Baryum Strontium. Cette structure change suivant la température et surtout suivant la concentration x en strontium incorporée. L’étude de la propagation des ondes de surface repose sur des méthodes de calcul où nous avons présenté la base de la théorie relative à la propagation d’onde de surface dans les structures couches/substrat. La théorie concerne la méthode ODE et la méthode SMM qui ont été détaillées selon les structures non-piézoélectrique, les structures piézoélectrique puis pour des structures soumises à des contraintes résiduelles. La théorie relative à l’acoustoélasticité était basée sur la méthode ODE qui a été détaillées avec des modifications introduite au cœur de la méthode ODE permettant ainsi d’évaluer l’effet des contraintes dans les milieux épitaxiés. |
| Sommaire : |
Introduction.............. .............. .......... .... .............. ............. ....... ....... ...1 je. Présentation de la structure d'accueil ........................... .............. ........ ... ..... 2 Moi. 1.Le CEA etla DRTà Grenoble ........................................................ ......... ................ 2 JE.2.LeLETI...................... ....................... ........ .............. ...................... .............. ......... .... 3 Moi. 3.Structure interne dvous LETIet ssur le remaniement .................................. 4 Moi. 3.1. L'ancienne structure .................................................. ............................................ 4Moi. 3.2. Lanouvelle structure ............................................................ ............................................. 6 II.ThéoriedesrayonsX ............. ............. ............. .............. ............. ............ 7 II.1.Grandsprincipes...................... ...................... ..... .................. ...................... .... 7 II. 1. 1.Émission de fluorescence ..................................................................................... 7 II. 1. 2.Classement ............................................................................................................ 7 II. 1.3. Spectrede fluorescence ....................................................................................... 8 II.1. 4.Rayonnemen t defreinage .................................................................. .................................. 9 II. 1.5. Autres interactions rayonnement-matièr e .................................................. ..... 10 II.2.Instrumentation ................... ....................... ....................... ...................... .... 14 II. 2.1. Lafluorescence X à dispersion d'énergie (EDXRF) ..................................................14 II. 2.2. La fluorescence X à dispersion de longueur d'onde (WDXRF) ........... 14 II. 2. 3.Détail des composants .................................................. .......................................... 15 II. 2.4. Synthèse surl' instrumentation .................................................. ................... 19 jeII. Méthodes d'analyse épaisseur-composition ............... ............. ..............20 III.1.Généralités ....................................... .......... ............ ...................... ................ 20 III. 2.Étalonnage avecla méthodedes Alphas .............................................. 21 III. 2.1. Principes ............................................................ ............................................................. ... 21 III. 2. 2.Limites .................................................. .............................................................. ... 21 III. 3. Étalonnage avec laméthode desParamètres Fondamentaux.... 23 III. 3.1. Principes ............................................................ ............................................................. ... 23 III. 3. 2. Mise en équation .................................................................................................... ... 23 III. 3. 3. Facteur expérimental .................................................. ........................................ 25 III. 3. 4.Limites .................................................. .............................................................. ... 27 III.4.Réglagespréliminaires ................... ...................... ........ .......................... 29 III.5.Suividesétalonnages................... ....................................... ....................... ............... 30 IV.Travauxréalisés.......................... .............. ........ .. .............. .............. ... 31 IV.1.Généralités.................... ...................... ........ .............. ...................... ............. 31 IV.2.Comparaison desdeuxméthodes ...................... ....................... .... ........ 32 IV. 2. 1. Le verre de Silicium Phosphore .......................................... ......................... 32 IV. 2. 2.Le Silicium polycristallin dopé Phosphore ............................................ 37 IV. 2. 3.Le Silicium amorphe dopé Bore ............................................ ...................... 41 IV. 2. 4.Etude de sensibilité sans étalon– cas du WSi ............................................. 44 IV. 2.5. Synthèse surles comparaisons ............................................................ ..................... 46 IV. 3. Etude plus poussée de la méthode des FP– CasduPSG ................ 47 IV. 3.1. Nombre minimum d'étalons à utiliser .................................................. ..... 47 IV. 3.2. Échelle sur l'épaisseur .................................................. ......................................... 48 IV. 3. 3.Point fixe ............................................................................................................ ... 48 IV. 3.4. Influence dela densité ............................................................ ....................................... 49Conclusion.......................... .............. ........ ................ ............................ ........ ...... ...... 50Indice........................... .............. ........ ... .............. .............. ....... ....... ...... ....... Tableaudeschiffres ................. ............. ............. ............. .............. ............. ............. .......... Tableaudestableaux............ .............. ............ ............... .............. ......... . Bibliographie............ .............. ........... ... .............. .............. ........ ...... ..... Annexes ............ .............. ............. .............. ............. ............. ............. .............. ............. .. . |
| Type de document : | Livres |
Disponibilité (4)
| Cote | Support | Localisation | Statut |
|---|---|---|---|
| PHY/763 | Livre | bibliothèque sciences exactes | Consultable |
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